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[鑫藍動態]芯片廢氣處理方法-鑫藍環保[ 2024-11-27 00:00 ]: 芯片廢氣處理方法主要依據廢氣成分的不同而有所區別。芯片廢氣主要包括酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和特殊氣體。以下是鑫藍環保對芯片廢氣處理方法的詳細闡述：酸性廢氣處理酸性廢氣主要來源于芯片清洗和蝕刻過程中使用的酸性化學試劑，如硫酸、鹽酸、氟化氫等，這些過程會釋放出氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫等污染物。處理方法主要采用濕式洗滌塔，以堿性溶液為吸收液進行中和反應，去除廢氣中的酸性成分。同時，配置多級噴淋和填料層以提高凈化效率; http://www.sfruc.net.cn/Article/xpfqclffxlhb_1.html

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