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      [鑫藍動態]半導體含砷廢氣處理設備[
                                        2023-12-29 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                      半導體工業是現代工業的重要組成部分，其生產過程中會產生大量的廢氣。其中，含砷廢氣是一種難以處理的有毒廢氣，因其含有高濃度的砷元素，對人體和環境造成的危害性非常大。因此，半導體含砷廢氣處理一直是工業領域的難題。

  
半導體含砷廢氣的成分
半導體含砷廢氣的主要成分是砷化氫（sH3）和三甲基砷（TM）。其中，砷化氫是一種無色、有毒、易燃的氣體，具有強的損傷作用，能破壞人體細胞的DN，導致中毒；而三甲基砷則是一種有機砷化合物，同樣具有毒性。
半導體含砷廢氣的治理方法
      
                                
      
                                    
                                        http://www.sfruc.net.cn/Article/bdthsfqclsb_1.html3星
      
                            
      
                        
                    
                    
                    
                    
                    
                    
                    

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