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      [鑫藍動態]光伏電池廢氣處理工藝-鑫藍昆山[
                                        2025-04-16 00:00
                                        ]
      
                                
      
                                       光伏電池生產過程中的廢氣主要來源于制絨、擴散、刻蝕、PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）等工序，成分復雜，包含酸性氣體（HCl、HF）、氮氧化物（NOx）、揮發性有機物（VOCs）、硅粉顆粒物等。處理需兼顧高效凈化與成本控制，以下為光伏電池廢氣處理綜合方案：

  
  一、廢氣成分及排放標準
  主要污染物：
  酸性氣體：HCl（氯化氫）、HF（氟化氫）。
  氮氧化物：NO、NO?。
  VOCs：
      
                                
      
                                    
                                        http://www.sfruc.net.cn/Article/gfdcfqclgyxlks_1.html3星
      
                            
      
                        
                    
                    
                    
                    
                    
                    
                    

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